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기술명 |
금속-산화막-금속 구조를 갖는 가스 센서 및 이의 동작방법 |
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권리구분 | 특허 | |||
출원인 | 세종대 산학협력단 | |||
대표발명자 | 이름 | 소속학과 | 연구실 | |
김희동 | 정보통신공학과 | |||
대표연구분야 | 지능형 반도체 소자/공정 | |||
출원번호 | 10-2017-0124024 | 등록번호 | 10-1989685 | |
출원일 | 2017-09-26 | 등록일 | 2019-06-10 | |
특허원문 | 금속-산화막-금속 구조를 갖는 가스 센서를 제공한다. 상기 가스 센서는 하부 전극을 구비한다. 상기 하부 전극 상에 제1 전이금속 산화막이 배치된다. 상기 제1 전이금속 산화막 상에 상기 제1 전이금속 산화막에 비해 트랩밀도가 큰 제2 전이금속 산화막이 배치된다. 상기 제2 전이금속 산화막 상에 상부 전극이 배치된다. | |||
상세기술정보 3 | 기술명 | 기술요약 | ||
전하트랩을 갖는 산화막을 사용한 가스 센서 |
▷전하트랩을 갖는 산화막을 사용하여 전하트랩 내에 산소가 포획되는 양에 따라 산화막에 흐르는 전류의 양이 달라지는 것을 사용하여 산소 농도 측정
▷산소가 포획된 전하트랩을 양측 전극들 사이의 전계 인가에 의해 빠르게 재생 가능 |
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관련동영상 | ||||
기술분류(대) | 전기전자 | 기술분야 | 전기·전자 | |
적용분야 | 산소가스센서 |
기술명 | |
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금속-산화막-금속 구조를 갖는 가스 센서 및 이의 동작방법 |
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권리구분 | 출원인 |
특허 | 세종대 산학협력단 |
대표발명자 | |
이름 | 소속학과 |
김희동 | 정보통신공학과 |
대표연구분야 | |
지능형 반도체 소자/공정 | |
출원번호 | 등록번호 |
10-2017-0124024 | 10-1989685 |
출원일 | 등록일 |
2017-09-26 | 2019-06-10 |
특허원문 | |
금속-산화막-금속 구조를 갖는 가스 센서를 제공한다. 상기 가스 센서는 하부 전극을 구비한다. 상기 하부 전극 상에 제1 전이금속 산화막이 배치된다. 상기 제1 전이금속 산화막 상에 상기 제1 전이금속 산화막에 비해 트랩밀도가 큰 제2 전이금속 산화막이 배치된다. 상기 제2 전이금속 산화막 상에 상부 전극이 배치된다. | |
상세기술정보 | |
기술명 | 기술요약 |
전하트랩을 갖는 산화막을 사용한 가스 센서 |
▷전하트랩을 갖는 산화막을 사용하여 전하트랩 내에 산소가 포획되는 양에 따라 산화막에 흐르는 전류의 양이 달라지는 것을 사용하여 산소 농도 측정
▷산소가 포획된 전하트랩을 양측 전극들 사이의 전계 인가에 의해 빠르게 재생 가능 |
기술분야 | 적용분야 |
전기·전자 | 산소가스센서 |