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기술명

그래핀 희생층을 이용한 에피택시 구조체 및 그 제조 방법

권리구분 특허
출원인 세종대 산학협력단
대표발명자 이름 소속학과 연구실
홍영준 나노신소재공학과
대표연구분야
출원번호 10-2018-0038706 등록번호 10-2068322
출원일 2018-04-03 등록일 2020-01-14
특허원문 ▷본 발명은 지지 기판과 결정층 사이에 에피택시(Epitaxy) 관계를 가져 기판과 결정층의 결정 특성에 따라 다양한 결정 방향을 갖는 구조물이 형성된 에피택시 구조체를 제공할 수 있다.
▷지지 기판과 그래핀층 사이에 반 데르 발스(van der Waals, vdW) 힘으로 결합되어 구조물의 손상 없이 지지 기판과 그래핀층의 분리가 가능하다.
상세기술정보 1 기술명 기술요약
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기술분류(대) 재료 기술분야 재료·화학
적용분야 플렉서블 웨어러블 소자의 무기물 반도체
기술명

그래핀 희생층을 이용한 에피택시 구조체 및 그 제조 방법

권리구분 출원인
특허 세종대 산학협력단
대표발명자
이름 소속학과
홍영준 나노신소재공학과
대표연구분야
출원번호 등록번호
10-2018-0038706 10-2068322
출원일 등록일
2018-04-03 2020-01-14
특허원문
▷본 발명은 지지 기판과 결정층 사이에 에피택시(Epitaxy) 관계를 가져 기판과 결정층의 결정 특성에 따라 다양한 결정 방향을 갖는 구조물이 형성된 에피택시 구조체를 제공할 수 있다.
▷지지 기판과 그래핀층 사이에 반 데르 발스(van der Waals, vdW) 힘으로 결합되어 구조물의 손상 없이 지지 기판과 그래핀층의 분리가 가능하다.
상세기술정보
기술명 기술요약
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기술분야 적용분야
재료·화학 플렉서블 웨어러블 소자의 무기물 반도체